トラブル

　ＴＦＴの試作開始。２条件目の成膜中、装置がトラブる。真空を仕切る天板が割れて大気突入。慌てて、SiH₄とH₂を止める。

　復旧作業、あれやこれや(自主規制)と大変だった。クリーンルーム内での作業とは…。

　とりあえず明日までパージしてベークして。