2005-09-12から1日間の記事一覧

トラブル

日記 #練習用

ＴＦＴの試作開始。２条件目の成膜中、装置がトラブる。真空を仕切る天板が割れて大気突入。慌てて、SiH4とH2を止める。復旧作業、あれやこれや(自主規制)と大変だった。クリーンルーム内での作業とは…。とりあえず明日までパージしてベークして。