2005-09-16 復旧 日記 #練習用 月曜日にトラブった装置。やっとこそ復旧。実験を再開する。 成膜中、また同じトラブルがあるのではとドキドキし、その瞬間の音が頭をよぎる。普段の倍くらい疲れた…。