2012-01-18 何事？ 日記 #練習用 昼過ぎから成膜。スパッタして次はアニール、と炉のゲート弁を開けると、搬送系のポンプが悲鳴を上げる。 何なに何なに何？？？？？？？ アニール炉のバックポンプ、エラーも吐かず止まってた。何故、ビープ音も出さず…。昨日の瞬停（と思われる）の影響か。何も無いと思っていたのに、見事にやられた感が。チェック、もっと気を付けないと、
