昼過ぎから成膜。スパッタして次はアニール、と炉のゲート弁を開けると、搬送系のポンプが悲鳴を上げる。 何なに何なに何？？？？？？？ アニール炉のバックポンプ、エラーも吐かず止まってた。何故、ビープ音も出さず…。昨日の瞬停（と思われる）の影響か。…
引用をストックしました
引用するにはまずログインしてください
引用をストックできませんでした。再度お試しください
限定公開記事のため引用できません。
