解釈

　朝、部長と話す。あっちゅ～間に３件ほど片付く。

　「半導体素子が形成された半導体基板の表面」、半導体素子はどこに形成されているのか、確かに疑義が生じうる。「半導体素子が形成された半導体基板→その表面」くらいの気持ちだったけど、「半導体素子が形成されている表面を持っている半導体基板」とも解釈できる。難しいね。